国产电子束光刻机突破0.6nm精度，量子芯片制造迎来自主“精雕利器”
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国产电子束光刻机突破0.6nm精度，量子芯片制造迎来自主“精雕利器”
近日，浙江大学余杭量子研究院自主研发的国产商业电子束光刻机“羲之”正式通过应用测试，0.6nm精度的惊人指标，填补了我国在纳米级精密加工装备领域的空白。 在全球化遭遇逆流、技术封锁日益加剧的背景下，这台国产…
近日，浙江大学余杭量子研究院自主研发的国产商业电子束光刻机“羲之”正式通过应用测试，0.6nm精度的惊人指标，填补了我国在纳米级精密加工装备领域的空白。 在全球化遭遇逆流、技术封锁日益加剧的背景下，这台国产…
